中芯片原材料重大突破：高純度硅烷實現量產

　　12月21日，《中科學報》報道，smtsh.cn/ target=_blank class=infotextkey>上海交通大學教授肖文德領銜研發的具有自主知識產權的硅烷大規模生產新技術600噸/年中試生產項目，在河南平煤神馬集團試車成功，并已連續穩定生產出純度大于99.9999%的高品質硅烷產品。該項目的成功標志著高純度硅烷大規模生產技術獲得突破。

　　據了解，我電子和大規模集成電路行業的芯片進口總額去年高達2300億美元。其中，一個重要原因是缺乏高純度晶體硅材料，而生產高純晶體硅必須以高純硅烷為基礎。我電子工業幾十年來一直在尋找高純硅烷大規模生產的方法，希望掃清中信息產業發展的障礙。而生產高純晶體硅材料是必須以高純硅烷為基礎的。

　　過去很長一段時間里，內企業主要采用硅化鎂為原料，規模小，成本高，產品純度低；還有兩家大型有企業花費巨資引進了美公司的技術。以氟硅酸為原料，投資大，成本高，純度也不高，生存處境艱難。

　　肖文德教授憑借自己長期扎實的化工理論基礎和工作實踐，熟練運用化學反應工程的熱門和前沿技術，以多功能反應器為基礎，開創性地提出了基于三氯氫硅的硅烷生產技術。使原本不太可能的反應（轉化率0.1%）可以實現接近100%的轉化率。

　　2010年12月，中平煤神馬集團與smtsh.cn/ target=_blank class=infotextkey>上海交通大學簽訂戰略合作協議，共同開發硅烷法多晶硅技術。根據協議，平煤神馬集團先后投入2.0億元，經過三年半時間的共同研發和建設，項目進展順利。今年9月建成的中試裝置，一次性試車成功。

　　肖文德教授表示，該項目的投產，標志著擁有完全自主知識產權的成套工業化硅烷生產技術在內率先取得突破，結束了外技術壟斷和內產品全部依靠進口的歷史。在首山焦化公司新建成的年產600噸硅烷項目灌裝車間，已有不少客戶前來訂購產品。硅烷是太陽能電池生產過程中不可或缺的材料，在平板顯示器、半導體、鍍膜玻璃等制造企業有廣泛應用。近年來，內硅烷市場需求年增速達到15%至20%。

　　硅烷主要生產原料為硅粉和氫氣。

　　首山焦化公司是平煤神馬集團大的焦化生產企業。該公司堅持焦化并舉的發展道路，除生產優質焦炭外，還延長副產品產業鏈，從焦爐煤氣中提煉氫氣，每小時氫氣產量達30000立方米。

　　2013年4月，首山焦化公司與smtsh.cn/ target=_blank class=infotextkey>上海交通大學合作，研發生產硅烷。經過一年多的技術攻關，今年10月26日，首山焦化公司硅烷項目投產，產品純度達到99.99999%。據悉，目前外進口硅烷產品純度高是99.9999%，家標準是99.9999%。

　　該項目硅烷裝置負責人李紅彬說，該項目采用硅烷法實現硅烷的工業化生產，生產過程中原料可全部轉化，沒有廢物排放，打破了日本鎂硅法、美氯硅法等傳統硅烷技術難以大規模生產和成本高、廢物排放多等瓶頸。