華燦光電與澳企合作 共探RPCVD技術(shù)應用

 澳大利亞公司BluGlass有限公司宣布，它將與中領(lǐng)先的LED芯片廠商華燦光電合作，探索氮化鋁（AlN）低溫沉積在高亮度LED上的應用，并探索RPCVD在綠色LED生產(chǎn)上的優(yōu)勢。通過該合作協(xié)議，華燦光電將為BluGlass提供4英寸晶圓產(chǎn)品，并制造用于測試的LED器件。 

    通過該協(xié)議，BluGlass打算為華燦光電系統(tǒng)演示其具備成本和性能優(yōu)勢的低溫遠程等離子體化學氣相沉積(RPCVD)技術(shù)，可用于綠色LED的p-GaN層低溫沉積。該公司還計劃探索在藍寶石襯底上采用氮化鋁（AlN）低溫沉積用于高亮度LED的制造。 

    BluGlass 2015年從澳大利亞悉尼麥考瑞大學三族氮化物部門獨立出來之后，研發(fā)了一種在玻璃襯底上使用遠距離等離子低壓化學氣相沉積（RPCVD）氮化鎵（GaN）和氮化鎵銦(InGaN)等材料的低溫工藝。此工藝生產(chǎn)的發(fā)光二級管（LED）和太陽能電池具有節(jié)省成本、吞吐量大和效率高等優(yōu)勢。BluGlass擁有該項技術(shù)在美、中、歐洲和日本等主要半導體市場的專利權(quán)。 

    而華燦光電是中著名的LED芯片制造商，公司致力于研發(fā)、生產(chǎn)、銷售以GaN基藍、綠光系列產(chǎn)品為主的高質(zhì)量LED外延材料與芯片，擁有際領(lǐng)先的技術(shù)研發(fā)能力和成熟的生產(chǎn)工藝。 

    據(jù)悉，兩家公司預計發(fā)展需要若干次迭代以演示其性能的能力。華燦將使用BluGlass的新RPCVD腔室設(shè)計，以提高PRCVD沉積的均勻性用來制造LED。華燦預計在未來幾個月內(nèi)委托BluGlass打造RPCVD設(shè)備，雙方將攜手合作，改進工藝，促使BluGlass系統(tǒng)能夠以低成本制造高效率高亮度的綠色和白色LED。